Target sputtering antimon telurida (antimony telluride sputtering target) Sb2Te3 ini berbentuk cakram dengan kemurnian 99,999%, diameter 2'' dan tebal 0,250'', untuk deposisi lapisan tipis (thin film) melalui sputtering. Dalam proses ini, material dikikis dari target lalu diendapkan pada substrat seperti wafer silikon. Metode sputtering mudah diulang, cocok untuk substrat berbagai bentuk dan ukuran, serta dapat ditingkatkan dari skala riset hingga batch produksi dengan area substrat menengah sampai besar.
Sb2Te3 adalah senyawa anorganik berupa padatan kristal abu-abu dengan struktur berlapis. Setiap lapisan tersusun dari dua lembar atom antimon dan tiga lembar atom telurium yang terikat oleh gaya van der Waals yang lemah. Berkat konduktivitas listriknya yang baik, material ini dikenal luas sebagai bahan termoelektrik untuk rentang suhu 200 K hingga 400 K.
Perangkat termoelektrik mengubah panas dan energi listrik secara langsung, sehingga lapisan Sb2Te3 relevan untuk generator daya, pendingin, serta sensor atau detektor termal. Target ini juga dapat digunakan untuk melapisi material fleksibel.
- Deposisi lapisan tipis Sb2Te3 pada substrat seperti wafer silikon.
- Pembuatan lapisan termoelektrik untuk generator daya, pendingin, serta sensor atau detektor termal pada suhu 200 K hingga 400 K.
- Pelapisan material fleksibel dengan antimon telurida.
- Etsa sputter (sputter etching) bila dibutuhkan anisotropi tinggi dan selektivitas tidak menjadi pertimbangan.
| Merek | Nanografi |
|---|---|
| Nomor CAS | — |
| Rumus molekul | Sb2Te3 |
| Kemurnian | 99,999% |
| Kategori | — |
| Ukuran kemasan | 1 buah |
| Bentuk fisik | Padatan kristal abu-abu |
| Penyimpanan | — |
- Kode produk: NG0ST01AT15
- Ukuran: 2''
- Ketebalan: 0,250''
- Rentang suhu termoelektrik: 200 K hingga 400 K
- Kode produk: NG0ST01AT15
—
—