Target sputtering timbal zirkonium titanat (lead zirconium titanate/PZT sputtering target, O5PbTiZr) dari Nanografi ini berupa keramik dengan kemurnian 99,9%, berukuran 2'' dan tebal 0,125'', dipasok per satu buah untuk deposisi lapisan tipis dengan metode sputtering.
PZT merupakan senyawa anorganik keramik berstruktur perovskit dengan efek piezoelektrik yang kuat, yaitu berubah bentuk ketika diberi medan listrik. Sifat ini menjadikannya bahan penting untuk transduser ultrasonik dan resonator piezoelektrik. Lapisan tipis PZT dapat dibuat melalui sol-gel, pulsed laser deposition, MOCVD, maupun RF magnetron sputtering; metode terakhir dinilai andal karena menghasilkan lapisan yang seragam dengan permukaan halus.
Pada deposisi sputter, material dikikis dari target lalu diendapkan pada substrat seperti wafer silikon. Prosesnya dapat diulang dengan hasil konsisten, cocok untuk substrat beragam bentuk dan ukuran, serta dapat ditingkatkan dari skala riset hingga batch produksi berarea sedang sampai besar. Banyaknya parameter proses memberi kendali luas atas pertumbuhan dan mikrostruktur lapisan.
- Deposisi lapisan tipis PZT pada substrat seperti wafer silikon dengan RF magnetron sputtering.
- Pembuatan lapisan piezoelektrik untuk transduser ultrasonik dan resonator piezoelektrik.
- Riset dan pengembangan proses lapisan tipis yang dapat ditingkatkan ke skala produksi.
- Sputter etching ketika dibutuhkan anisotropi etsa tinggi dan selektivitas tidak menjadi pertimbangan.
| Merek | Nanografi |
|---|---|
| Nomor CAS | — |
| Rumus molekul | — |
| Kemurnian | 99,9% |
| Kategori | — |
| Ukuran kemasan | 1 buah |
| Bentuk fisik | — |
| Penyimpanan | — |
- Kode produk: NG0ST01LE49
- Material: Timbal zirkonium titanat/PZT (O5PbTiZr)
- Ukuran: 2''
- Ketebalan: 0,125''
- Kode produk: NG0ST01LE49
—
—