Target sputtering timbal zirkonium titanat (lead zirconium titanate sputtering target, PZT, O5PbTiZr) ini berbentuk cakram 5'' dengan ketebalan 0,125'' dan kemurnian 99,9%. Produk dijual per satu buah untuk deposisi lapisan tipis dengan metode sputtering.
PZT merupakan senyawa anorganik berupa keramik berstruktur perovskit yang memiliki efek piezoelektrik kuat, yaitu berubah bentuk ketika diberi medan listrik. Karena sifat ini, PZT banyak dipakai pada transduser ultrasonik dan resonator piezoelektrik. Lapisan tipis PZT dapat dibuat melalui proses sol-gel, pulsed laser deposition, MOCVD, maupun RF magnetron sputtering; metode terakhir dinilai andal karena menghasilkan lapisan yang seragam dengan permukaan halus.
Deposisi sputter bersifat dapat diulang dan dapat ditingkatkan skalanya dari riset skala kecil hingga produksi batch dengan area substrat menengah sampai besar. Banyaknya parameter proses memungkinkan kontrol yang cermat atas pertumbuhan dan mikrostruktur lapisan.
- Deposisi lapisan tipis PZT pada substrat seperti wafer silikon dengan metode sputtering.
- RF magnetron sputtering untuk lapisan piezoelektrik PZT yang seragam dan halus.
- Pengembangan lapisan tipis untuk transduser ultrasonik dan resonator piezoelektrik.
- Sputter etching ketika dibutuhkan anisotropi etsa tinggi dan selektivitas tidak menjadi pertimbangan.
- Proyek riset dan pengembangan yang dapat ditingkatkan ke area substrat menengah hingga besar.
| Merek | Nanografi |
|---|---|
| Nomor CAS | — |
| Rumus molekul | O5PbTiZr |
| Kemurnian | 99,9% |
| Kategori | — |
| Ukuran kemasan | 1 buah |
| Bentuk fisik | — |
| Penyimpanan | — |
- Kode produk: NG0ST01LE55
- Material: Timbal zirkonium titanat (PZT)
- Ukuran: 5''
- Ketebalan: 0,125''
—
—