Target sputtering litium kobalt oksida (lithium cobalt oxide sputtering target, LiCoO2) dari Nanografi ini berbentuk cakram berdiameter 3'' dengan ketebalan 0,125'' dan kemurnian 99,9%, dilengkapi indium untuk proses bonding. Target ini digunakan untuk membuat lapisan tipis LiCoO2 melalui sputtering, terutama sebagai elektroda positif pada baterai litium-ion film tipis.
LiCoO2 merupakan senyawa kristal padat berwarna biru tua atau abu-abu kebiruan yang umum dipakai sebagai material katoda baterai litium-ion. Baterai film tipis berbasis material ini cocok untuk perangkat berdaya rendah seperti elektronik portabel dan sistem mikro-elektromekanis (MEMS) yang hanya membutuhkan arus sangat kecil.
Pada penggunaannya, target direkatkan ke backing plate dan dipasang sebagai bagian rakitan katoda pada sistem sputter magnetron D.C. Ruang vakum diisi gas inert, sebaiknya argon; ion gas menumbuk permukaan target sehingga material terlepas dan mengendap sebagai lapisan LiCoO2 pada substrat di dekat anoda. Proses sputtering bersifat berulang (repeatable) dan dapat ditingkatkan dari skala riset hingga batch produksi dengan area substrat menengah hingga besar.
- Deposisi lapisan tipis katoda LiCoO2 untuk baterai litium-ion film tipis.
- Pembuatan sumber daya mikro untuk perangkat elektronik portabel dan MEMS.
- Sputtering magnetron D.C. lapisan LiCoO2 pada substrat seperti wafer silikon.
- Riset dan pengembangan proses deposisi lapisan tipis yang dapat ditingkatkan ke skala produksi.
| Merek | Nanografi |
|---|---|
| Nomor CAS | — |
| Rumus molekul | — |
| Kemurnian | 99,9% |
| Kategori | — |
| Ukuran kemasan | 1 buah |
| Bentuk fisik | Padatan kristal biru tua atau abu-abu kebiruan |
| Penyimpanan | — |
- Kode produk: NG0ST01LI10
- Material: Litium Kobalt Oksida (LiCoO2)
- Ukuran: 3''
- Ketebalan: 0,125''
- Bonding: Indium
- Kode produk: NG0ST01LI10
—
—