Target sputtering litium fosfat (lithium phosphate sputtering target) Li3PO4 dari Nanografi ini berbentuk cakram berukuran 4'' dengan ketebalan 0,125'', kemurnian 99,95%, dan ikatan elastomer. Target ini menjadi sumber material untuk menumbuhkan lapisan tipis Li3PO4 melalui sputtering, yaitu proses pengikisan material dari target lalu diendapkan ke substrat seperti wafer silikon.
Deposisi sputtering dapat melapisi substrat dengan beragam bentuk dan ukuran serta memberikan hasil yang berulang secara konsisten. Proses yang dikembangkan pada skala riset dan pengembangan dapat ditingkatkan ke batch produksi dengan area substrat menengah hingga besar.
Bergantung pada kondisi proses, reaksi kimia dapat terjadi di permukaan target, selama perjalanan partikel, atau di substrat. Banyaknya parameter yang dapat diatur membuat sputtering cukup kompleks, namun memberi pengguna berpengalaman kendali yang baik atas pertumbuhan dan mikrostruktur lapisan.
- Deposisi lapisan tipis litium fosfat pada substrat seperti wafer silikon.
- Etsa sputter (sputter etching) ketika dibutuhkan anisotropi etsa tinggi dan selektivitas tidak menjadi prioritas.
- Metode analisis komposisi seperti spektrometri massa ion sekunder (SIMS), di mana material di-sputter dengan laju konstan dan diukur dengan spektrometri massa.
- Pekerjaan riset dan pengembangan yang dapat ditingkatkan ke batch produksi dengan area substrat menengah hingga besar.
| Merek | Nanografi |
|---|---|
| Nomor CAS | — |
| Rumus molekul | — |
| Kemurnian | 99,95% |
| Kategori | — |
| Ukuran kemasan | 1 buah |
| Bentuk fisik | — |
| Penyimpanan | — |
- Kode produk: NG0ST01LI44
- Material: Litium Fosfat (Li3PO4)
- Ukuran: 4''
- Ketebalan: 0,125''
- Ikatan: Elastomer
- Kode produk: NG0ST01LI44
—
—