Target sputtering litium fosfat (lithium phosphate sputtering target) Li3PO4 dari Nanografi ini berbentuk cakram berukuran 2'' dengan ketebalan 0,250'' dan kemurnian 99,95%. Target ini menjadi sumber material pada sistem deposisi sputter, di mana material yang terkikis dari target diendapkan sebagai lapisan tipis pada substrat, misalnya wafer silikon.
Metode sputtering mampu melapisi substrat dengan beragam bentuk dan ukuran serta memberikan hasil yang konsisten. Proses yang dikembangkan pada skala riset dan pengembangan dapat ditingkatkan ke batch produksi untuk area substrat menengah hingga besar.
Bergantung pada parameter proses, reaksi kimia dapat terjadi di permukaan target, selama perjalanan partikel, atau di substrat. Banyaknya parameter memang membuat proses ini kompleks, namun memberi pengguna berpengalaman kendali yang tinggi atas pertumbuhan dan mikrostruktur lapisan.
- Deposisi lapisan tipis litium fosfat pada substrat seperti wafer silikon.
- Etsa sputter (sputter etching) ketika dibutuhkan etsa yang sangat anisotropik dan selektivitas tidak menjadi prioritas.
- Analisis seperti spektrometri massa ion sekunder (SIMS), di mana material yang tersputter dengan laju konstan diukur untuk menentukan komposisi dan pengotor dalam konsentrasi sangat rendah.
- Penelitian terkait pelapukan ruang angkasa (space weathering), yaitu perubahan permukaan benda tanpa atmosfer seperti asteroid dan Bulan akibat sputtering.
| Merek | Nanografi |
|---|---|
| Nomor CAS | — |
| Rumus molekul | — |
| Kemurnian | 99,95% |
| Kategori | — |
| Ukuran kemasan | 1 buah |
| Bentuk fisik | — |
| Penyimpanan | — |
- Kode produk: NG0ST01LI28
- Material: Litium Fosfat (Li3PO4)
- Ukuran: 2''
- Ketebalan: 0,250''
- Kode produk: NG0ST01LI28
—
—