Target sputtering litium titanat (lithium titanate sputtering target, Li2TiO3) dari Nanografi ini berbentuk cakram berdiameter 2'' dengan ketebalan 0,125'', kemurnian 99,95%, dan diikat dengan indium. Produk ini menjadi bahan sumber untuk membentuk lapisan tipis Li2TiO3 pada sistem pelapisan sputter.
Pada deposisi sputter, material dikikis dari target lalu diendapkan pada substrat, misalnya wafer silikon. Metode ini dapat diterapkan pada berbagai bentuk dan ukuran substrat, memberikan hasil yang dapat diulang, serta dapat ditingkatkan dari skala riset hingga batch produksi dengan area substrat menengah sampai besar.
Reaksi kimia dapat berlangsung di permukaan target, selama perjalanan partikel, atau di substrat, tergantung parameter proses. Banyaknya parameter membuat sputtering cukup kompleks, namun memberi kendali yang luas atas pertumbuhan dan mikrostruktur lapisan.
- Deposisi lapisan tipis litium titanat pada substrat seperti wafer silikon.
- Etsa sputter (sputter etching) ketika dibutuhkan anisotropi etsa tinggi dan selektivitas tidak menjadi prioritas.
- Analisis komposisi dengan spektrometri massa ion sekunder (SIMS), termasuk deteksi pengotor berkonsentrasi sangat rendah.
- Pelapisan untuk riset maupun produksi pada area substrat menengah hingga besar.
| Merek | Nanografi |
|---|---|
| Nomor CAS | — |
| Rumus molekul | — |
| Kemurnian | 99,95% |
| Kategori | — |
| Ukuran kemasan | 1 buah |
| Bentuk fisik | — |
| Penyimpanan | — |
- Kode produk: NG0ST01LI53
- Material: Litium Titanat (Li2TiO3)
- Ukuran: 2''
- Ketebalan: 0,125''
- Ikatan: Indium
- Kode produk: NG0ST01LI53
—
—