Silikon nitrida (Si3N4) adalah senyawa keramik maju yang tersusun dari silikon dan nitrogen, termasuk dalam golongan keramik nitrida dan material dielektrik. Target sputtering berbahan silikon nitrida berfungsi sebagai material sumber dalam physical vapor deposition (PVD), di mana target dibombardir dengan ion berenergi tinggi sehingga atomnya terlepas dan terdeposisi sebagai lapisan tipis pada substrat. Lapisan yang dihasilkan dinilai karena sifat isolasi listriknya, stabilitas kimianya, dan ketahanan mekaniknya.
- Kuantitas: 1 buah
Hubungi AMI Scientific untuk spesifikasi teknis, Certificate of Analysis (CoA), atau penawaran.
- Lapisan dielektrik dan pasivasi dalam riset mikroelektronika dan perangkat semikonduktor
- Lapisan pelindung keras dan tahan aus pada perkakas maupun komponen
- Lapisan tipis optik untuk riset pelapisan dan fotonika
- Sistem mikroelektromekanis (MEMS) dan pengembangan proses mikrofabrikasi
| Merek | — |
|---|---|
| Nomor CAS | — |
| Rumus molekul | — |
| Kemurnian | — |
| Kategori | — |
| Ukuran kemasan | — |
| Bentuk fisik | — |
| Penyimpanan | — |
—
—