Silicon nitride (Si3N4) adalah senyawa keramik kovalen dari silikon dan nitrogen, dikenal karena kekerasan, stabilitas termal, dan sifat isolasi listriknya. Sebagai target sputtering, material ini berfungsi sebagai sumber padat dalam physical vapor deposition, di mana material ini di-sputter untuk membentuk lapisan tipis silicon nitride pada substrat. Material ini termasuk dalam golongan keramik teknis maju.
- Kuantitas: 1 piece
Hubungi AMI Scientific untuk spesifikasi teknis, Certificate of Analysis (CoA), atau penawaran.
- Lapisan dielektrik dan pasivasi dalam riset mikroelektronika
- Lapisan tipis pelindung dan tahan aus
- Lapisan tipis optik untuk riset dan pengembangan
- Fabrikasi lapisan perangkat MEMS
- Lapisan penghalang difusi dalam riset material
| Merek | — |
|---|---|
| Nomor CAS | — |
| Rumus molekul | — |
| Kemurnian | — |
| Kategori | — |
| Ukuran kemasan | — |
| Bentuk fisik | — |
| Penyimpanan | — |
—
—